Sdílet Sdílet Sdílet

Thickness of sublimation grown SiC layers measured by scanning Raman spectroscopy

Journal of Alloys and Compounds

Kunc, J.; Rejhon, M.; Dědič, V.; Bábor, P., 2019: Thickness of sublimation grown SiC layers measured by scanning Raman spectroscopy. JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS 789, p. 607 - 612, doi: 10.1016/j.jallcom.2019.02.305
(DEKTAK, SIMS)

Vybavení:

• Mechanical profilometer Bruker Dektak XT
• Secondary Ion Mass Spectroscopy ION-TOF TOF.SIMS5

Výzkumné skupiny:

• CF: CEITEC Nano
• Příprava a charakterizace nanostruktur

CEITEC autoři:

• Ing. Petr Bábor, Ph.D.