Sdílet
Základní informace
Kurz je určen pro učitele středních škol a víceletých gymnázií. Kapacita je vždy 6 účastníků, kteří se v prostorách CEITEC VUT pohybují v doporovodu zaměstnanců CEITEC VUT.
Účastníci kurzu jsou nejprve během Teoretického úvodu seznámeni s pravidly bezpečnosti práce v laboratořích čistých prostor ISO5 a dozví se základní informace o přístrojích, které pak budou v laboratoři používat. Součástí úvodu je ukázka návrhu designu součástek a sruktur, který si následně v laboratoři vyrobí.
Praktická část pak zahrnuje práci na konkrétních přístrojích v laboratořích, kde cílem je expozice předem připravené struktury do metalické vrstvy. Účastníci si prakticky vyzkouší všechny technologické kroky a nakonec si odnesou připravený vzorek. Kromě vzorku si s sebou také odnesou osvědčení o absolvování kurzu.
Program
(1-2 hodiny)
Teoretický úvod
Bezpečnost a práce v laboratoři – Design a jeho tvorba – Litografie – Metalizace – Leptání
(4 hodiny)
Praktická část
Depozice kovové vrstvy – Nanášení rezistu na substrát – Litografie: přímým zápisem nebo pomocí masky – Leptání struktur: suché a mokré – Lift-off kovové vrstvy – Inspekce na mikroskopu: optický a SEM